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±â°è°øÇкÎ
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±â°è°øÇкÎ, ±â°è°øÇÐÀü°ø, ±â°è¼³°è°øÇÐÀü°ø, ±â°è½Ã½ºÅÛ°øÇаú, ±â°è½Ã½ºÅÛ°øÇкÎ, ±â°è½Ã½ºÅÛ°øÇÐÀü°ø, ±â°è½Ã½ºÅÛµðÀÚÀΰøÇаú, ±â°è½Ã½ºÅÛÀü°ø, ±â°è½Å¼ÒÀç°øÇкÎ, ±â°è¿ìÁÖÇ×°ø°øÇкΠµî
±â°è°øÇÐÀº ÀÏ»ó»ýÈ°¿¡ ÇÊ¿äºÒ°¡°áÇÑ ¹Ì·¡ÀÚµ¿Â÷±â¼ú ±×¸®°í Àü ±¹Å並 ÇÏ·ç »ýÈ°±ÇÀ¸·Î Çö½ÇÈ­ÇÏ´Â ÃÊ°í¼Ó¿­Â÷±â¼ú, ´õ ³ª¾Æ°¡ Áö±¸
Àüü¸¦ ±¹°æ¾ø´Â ¼¼°è±¹°¡·Î ¸¸µç Çö´ëÇ×°ø±â¼ú°ú ´Ù¾çÇÑ ÀÀ¿ë¼ºÀ» º¸¿©ÁÖ¸ç ¹Ì·¡ »ýÈ°°ø°£ÀÎ ¿ìÁÖ¸¦ °³Ã´ÇÏ´Â ÀΰøÀ§¼º¿ìÁÖ±â¼ú, ¿ì¸® »ýÈ°À» ¾È¶ôÇÏ°í Æí¾ÈÇÏ°Ô ÇØÁÖ´Â ¿¡³ÊÁö±â¼ú°ú ¼ö¸¹Àº Çö´ë½Ä °øÀåµéÀÇ ÀÚµ¿È­µÈ ÷´Ü ·Îº¿ »ý»ê½Ã½ºÅÛ±â¼ú µîÀÇ ±Ù°£À» ÀÌ·ç´Â ÷´Ü
ÇٽɰøÇÐ Çй®ºÐ¾ßÀÔ´Ï´Ù. ÃÖ±Ù¿¡´Â Çй®ÀÇ º¹ÇÕÈ­, À¶ÇÕÈ­ Ãß¼¼¿¡ µû¶ó ±ØÃʹ̼¼ MEMS ³ª³ë±â¼ú, Àΰ£ÀÇ Áúº´Ä¡·á¿Í ¿¬°üµÈ ÀΰøÀå±â µî ÀÎüÀÇ °øÇÐÀû Çؼ®À» ½ÃµµÇÏ´Â ½ºÆ÷Ã÷°úÇбâ¼ú µîµµ »õ·Î¿î ±â°è°øÇко߷Π´ëµÎµÇ°í ÀÖ½À´Ï´Ù.
±â°è°øÇÐÀº ½Ç»ýÈ°¿¡ ÇÊ¿äÇÑ ±â°èµé¿¡¼­ »ê¾÷±â°è¿¡ À̸£±â±îÁö ¸ðµç »ê¾÷ÀÇ ±Ù°£À» ÀÌ·ç´Â Çй®ºÐ¾ß¶ó ÇÒ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù.
±â°è°øÇаú´Â źźÇÑ ±âÃÊ°úÇаú ½Ç¿ëÀûÀÎ °øÇкι®ÀÇ Áö½Ä½ÀµæÀ» ÅëÇØ »ê¾÷ÇöÀå¿¡ ´Éµ¿ÀûÀ¸·Î ÀûÀÀÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ´É·ÂÀ» ¹è¾ç½ÃÅ°°íÀÚ
ÇÕ´Ï´Ù. ¶ÇÇÑ Á¾ÇÕÀûÀÎ ¼³°è±³À°ÀÇ °­È­·Î ÀÀ¿ë·Â ¹× µ¶Ã¢Àû »ç°í¸¦ Áö´Ñ ±â°è°øÇÐÀÎÀ» ¹èÃâ½Ãŵ´Ï´Ù. À̷νá Çö´ë »ê¾÷»çȸ¿¡¼­ º¯È­ÇÏ´Â »ê¾÷üÀÇ ¿ä±¸¿Í Á¤º¸È­ ½Ã´ë¿¡ ÀûÀÀÇϱâ À§ÇÑ Àü¹®ÀûÀÌ°í âÀÇÀûÀÎ ÀÎÀç ¾ç¼º¿¡ ±³À°¸ñÇ¥¸¦ µÎ°í ÀÖ½À´Ï´Ù.
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ÀϹݱâ°è»ê¾÷±â»ç, ±â°è¼³°è»ê¾÷±â»ç, ±â°èÁ¤ºñ»ê¾÷±â»ç, ÇÁ·¹½º±ÝÇü(»ê¾÷)±â»ç
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